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GSL-1800X-ZF6鈣鈦礦鍍膜機

簡要描述:GSL-1800X-ZF6鈣鈦礦鍍膜機是一種利用電阻加熱使膜材汽化蒸發(fā)后凝結(jié)在基片上成膜的加熱鍍膜方法,該方法結(jié)構(gòu)簡單、實用,使用可靠,適用于制備金屬單質(zhì)薄膜、半導體薄膜、氧化物薄膜、有機薄膜等等,可用于科研單位進行新材料、新工藝薄膜研究工作,也可用于大批量生產(chǎn)前的試驗工作。
適用范圍:鈣鈦礦材料、二維材料、光伏太陽能電池的器件制備等。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2024-04-10
  • 訪  問  量:295

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GSL-1800X-ZF6鈣鈦礦鍍膜機是一種利用電阻加熱使膜材汽化蒸發(fā)后凝結(jié)在基片上成膜的加熱鍍膜方法,該方法結(jié)構(gòu)簡單、實用,使用可靠,適用于制備金屬單質(zhì)薄膜、半導體薄膜、氧化物薄膜、有機薄膜等等,可用于科研單位進行新材料、新工藝薄膜研究工作,也可用于大批量生產(chǎn)前的試驗工作。
適用范圍:鈣鈦礦材料、二維材料、光伏太陽能電池的器件制備等

·鈣鈦礦鍍膜機主要由金屬源蒸發(fā)沉積室,真空排氣系統(tǒng),真空測量系統(tǒng),有機蒸發(fā)源,無機蒸發(fā)源,樣品臺系統(tǒng),電控系統(tǒng),配氣系統(tǒng)等部分組成
·方便操作,制成的薄膜純度高、質(zhì)量好,膜厚可以準確的控制,成膜速率快,效率高,用掩膜可以獲得清晰的圖形,薄膜的生長比較單純。
·恢復工作真空快,大氣至5×10-4Pa≤15分鐘。

產(chǎn)品名稱
GSL-1800X-ZF6鈣鈦礦鍍膜機
產(chǎn)品型號GSL-1800X-ZF6
主要參數(shù)
1、極限真空度:5×10-5Pa,保壓12小時
2、膜厚均勻性≥95%;重復性≥95%;
3、不銹鋼蒸發(fā)基片托1個,最大可容納一塊4英寸樣品
4、蒸發(fā)源距離可調(diào)范圍:260mm-320mm
5、蒸發(fā)水冷電極2組(6個),組成4個蒸發(fā)舟,最大輸出功率3Kw(電壓 10V;電流300A)。
6、提供2臺有機電源,2臺無機電源,最多同時蒸發(fā)4種材料。
7、方型真空室尺寸500mm×500mm×450mm(長×寬×高)












序號名稱數(shù)量圖片鏈接
1

有機材料蒸發(fā)電源

2套-
2無機材料蒸發(fā)電源2套-
3

膜厚監(jiān)測儀系統(tǒng)

1套-
4分子泵1臺-
5

冷水機

1臺-
6聚酯PU管(?8、6、4mm)
10m
-



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