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VTC-200-SE 8寸柜式噴膠機

簡要描述:VTC-200-SE 8寸柜式噴膠機是一種滿足半導(dǎo)體TSV、MEMS、WLP等工藝制程中異形表面的噴膠作業(yè)設(shè)備。是一種采用高精度微量液體平流傳輸和超聲波霧化震蕩技術(shù)均勻噴涂在一定溫度的物件表面,多次沉積成均勻涂層膜的納米噴膠設(shè)備。VTC-200-SE 8寸柜式噴膠機采用鋁型材機柜,耐腐蝕透明PC板和噴塑機柜鈑金組成,美觀大方。七寸全彩觸屏界面,高精密電缸和伺服系統(tǒng)控制,整體設(shè)計布局合理,簡單易用。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2019-05-16
  • 訪  問  量:756

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詳細(xì)介紹

價格區(qū)間面議產(chǎn)地類別國產(chǎn)

 

產(chǎn)品名稱

VTC-200-SE 8寸柜式噴膠機

主要特點

1、全柜式集成結(jié)構(gòu),工業(yè)級設(shè)計

2、大適合8寸晶圓,向下兼容,基片工裝方便更換

3、XYZ三軸電缸設(shè)計,噴頭高度程序可設(shè)置

4、轉(zhuǎn)盤加熱旋轉(zhuǎn)系統(tǒng),工作區(qū)高熱均勻性

5、微量平流系統(tǒng),流速平穩(wěn),流量精確可調(diào)

6、采用超聲噴霧系統(tǒng),霧化顆粒均勻,功率可調(diào)

7、帶基片吸附和電動頂針功能,方便上下片和計時功能

8、帶膠液監(jiān)測功能,頂部抽風(fēng),保證工業(yè)生產(chǎn)需要

9、七寸全彩觸屏操作,手動調(diào)試和自動運行兩種操作模式

技術(shù)參數(shù)

1、電源:AC220V,50HZ,1.5KW

2、工作環(huán)境:濕度:20-90%,溫度20-30℃

3、處理Wafer尺寸:200mm以下,向下兼容

4、熱盤溫度控制:室溫至200℃,控溫精度±0.5℃,工作區(qū)溫度均勻性 小于±1%

5、基片頂升系統(tǒng):頂升高度0-15mm,高度分辨率0.1mm 膠液流速范圍 1-20ml/min可調(diào)

6、熱盤電機額定轉(zhuǎn)速:1000rpm

7、XY電缸移動大速度:X軸200mm/s,Y軸200mm/s

8、XY電缸有效行程:300mm×300mm

9、超聲波霧化粒徑:30-50μm

10、操作系統(tǒng):人機互動界面,PLC控制

11、噴嘴移動方式:電動機械組合XYZ三軸電缸

產(chǎn)品規(guī)格

1、機器尺寸:1000mm×880mm×1800mm (長×寬×高)

2、重量:55Kg

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